欠陥形態解析の精密測定機器として、その主な目的はサンプルに対して欠陥検査を行うことである。機器が提供するデータには誤りがあってはならない。Park NX20，この高精密な大型試料原子間力顕微鏡は、データの正確さによって半導体やハードディスク業界で称賛されている。

包括的で多様な分析機能

Park NX 20は、お客様が製品の失効の原因を見つけるのを迅速に支援し、お客様がよりクリエイティブなソリューションを作成するのを支援します。高精度はユーザーに高解像度データをもたらし、ユーザーがより仕事に集中できるようにします。同時に、非接触走査モードはプローブ針の先端をより鋭利で耐久性があり、頻繁にプローブを交換するために多大な時間とお金を費やす必要はありません。

のためにFAと研究実験室は正確な形態測定ソリューションを提供する

· サンプルと基板の表面粗さ測定

· 欠陥検査イメージングと解析

· 高分解能電子走査モード

· 業界をリードする3次元構造測定のデカップリングXYスキャンシステム

· ていざつおんZ検出器は原子間力顕微鏡の表面形態を正確に測定できる

Park NX 20の特徴

lていざつおんMXYZ位置センサ

lじどうたてんしりょうそうさ

l走査ヘッドスライド埋め込み設計

l高度なスキャンモードのための容易な挿抜拡張スロット

l高速度24ビットデジタル電子制御装置

l高速度Z軸スキャナ、走査範囲15µm

l統合エンコーダのXY自動サンプルステージ

l操作が容易なサンプルテーブル

l同軸高出力光学集積LED照明とCCDシステム。

l自動Z軸移動・フォーカスシステム

Park NX 20技術パラメータ

スキャナ

Zスキャナ

フレキシブルブート高推力スキャナ

そうさはんい:15µm（オプション30µm）
こうどしんごうざつおんレベル:30 pm
（RMS，at 0.5 kHz帯域幅）

XYスキャナ

閉ループ制御のフレキシブルガイドXYスキャナ

そうさはんい:100 µm × 100 µm
（オプション50µm×50µm）

くどうだい

Zシフトテーブルストローク範囲: 25 mm (Motorized)
フォーカスサンプルテーブルストローク範囲 : 15 mm (Motorized)
XY変位テーブルストローク範囲: 200 mm x 200 mm

サンプルラック

サンプルサイズ :基本構成オープンスペース up to 200 mm x 200 mm,厚さup to 20 mm
サンプル重量 :< 500="">

光学

10倍（0.23 N.A.）超長動作距離レンズ（1µm解像度）
サンプル表面とカンチレバーの直観同軸画像
視野 : 840×630µm（10倍対物レンズ付き）
CCD：100万画素、500万画素（オプション）

ソフトウェア

SmartScan™

AFMシステム制御とデータ収集のための専用ソフトウェア
スマートモードの高速設定と簡易イメージング
手動モードの高度な使用とより精密なスキャン制御

XEI

AFMデータ解析ソフトウェア

でんし

統合機能
4チャネルディジタル位相同期増幅器
データ＃データ＃Q制御

しんごうしょり

ADC :18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor

DAC :17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning

Maximum data size :4096 x 4096 pixels

外部信号の接続
組み込み型入出力ポート×20
5つのTTL出力：EOF, EOL, EOP, 変調及び交流バイアス